日本標(biāo)準(zhǔn)用薄膜測厚儀技術(shù)
工業(yè)生產(chǎn)的薄膜，其厚度是一個(gè)重要的參數(shù)。在實(shí)際的應(yīng)用中，測量薄膜的厚度的方法有很多。
薄膜；厚度；測量；方法；光學(xué)；非光學(xué)
什么是薄膜厚度
通常情況下，薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離，而實(shí)際上，薄膜的表面是不平整，不連續(xù)的，且薄膜內(nèi)部存在著針孔、微裂紋、纖維絲、雜質(zhì)、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三類：形狀厚度，質(zhì)量厚度，物性厚度。形狀厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離；質(zhì)量厚度指的是薄膜的質(zhì)量除以薄膜的面積得的厚度，也可以是單位面積所具有的質(zhì)量(g/cm2)；物性厚度指的是根據(jù)薄膜材料的物理性質(zhì)的測量，通過一定的對應(yīng)關(guān)系計(jì)算而得到的厚度。
薄膜測試儀連續(xù)測厚機(jī)FT-A200/FT-A200R
配備高精度測量頭和放大器單元的機(jī)器。
只需設(shè)置從生產(chǎn)線切出的薄膜，即可輕松連續(xù)測量厚度。
FT-A200 測量范圍/10μm至200μm
FT-A200R 測量范圍/3μm至100μm
測量分辨率/0.01μm
