專為半導(dǎo)體制造等高精度行業(yè)設(shè)計(jì)的露點(diǎn)儀TK-100

發(fā)布日期：2025-02-16      瀏覽次數(shù)：88

專為半導(dǎo)體制造等高精度行業(yè)設(shè)計(jì)的露點(diǎn)儀TK-100






TK-100是一款專為半導(dǎo)體制造等高精度行業(yè)設(shè)計(jì)的露點(diǎn)儀，主要用于監(jiān)測(cè)和控制氣體或環(huán)境中的水分含量。以下是TK-100的主要特點(diǎn)、技術(shù)參數(shù)和應(yīng)用場(chǎng)景：

主要特點(diǎn)

1. 高精度測(cè)量

• TK-100采用先進(jìn)的傳感器技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的露點(diǎn)測(cè)量，確保半導(dǎo)體制造過程中的氣體和環(huán)境濕度符合嚴(yán)格的要求。

2. 寬測(cè)量范圍

• 該露點(diǎn)儀具有寬廣的測(cè)量范圍，通常覆蓋從-100°C到+20°C的露點(diǎn)，適用于多種半導(dǎo)體制造工藝。

3. 快速響應(yīng)時(shí)間

• TK-100具有快速的響應(yīng)時(shí)間，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)氣體或環(huán)境中的水分變化，確保及時(shí)調(diào)整和控制。

4. 抗污染能力強(qiáng)

• 在半導(dǎo)體制造環(huán)境中，可能存在各種化學(xué)污染物。TK-100設(shè)計(jì)有抗污染能力，能夠在惡劣環(huán)境中穩(wěn)定工作。

5. 易于集成

• TK-100支持多種通信協(xié)議，易于與現(xiàn)有的監(jiān)控和控制系統(tǒng)集成，方便用戶進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和分析。

6. 用戶友好界面

• 該露點(diǎn)儀配備直觀的用戶界面，操作簡(jiǎn)單，便于用戶進(jìn)行設(shè)置和監(jiān)控。

技術(shù)參數(shù)

• 測(cè)量范圍：-100°C to +20°C 露點(diǎn)

• 精度：±2°C 露點(diǎn)

• 響應(yīng)時(shí)間：<10秒（達(dá)到90%的最終讀數(shù)）

• 工作溫度：-20°C to +50°C

• 輸出信號(hào)：4-20mA, RS485, Modbus RTU

• 電源供應(yīng)：24VDC

• 防護(hù)等級(jí)：IP65

應(yīng)用場(chǎng)景

1. 潔凈室監(jiān)控

• TK-100用于監(jiān)測(cè)潔凈室中的露點(diǎn)，確保環(huán)境濕度符合半導(dǎo)體制造的要求。

2. 氣體純度檢測(cè)

• 在半導(dǎo)體制造過程中，使用的高純度氣體（如氮?dú)?、氬氣）需要?yán)格控制水分含量。TK-100用于檢測(cè)這些氣體的露點(diǎn)，確保其純度。

3. 工藝氣體監(jiān)控

• 在薄膜沉積、蝕刻等關(guān)鍵工藝中，TK-100用于監(jiān)控工藝氣體的露點(diǎn)，防止水分影響產(chǎn)品質(zhì)量。

4. 壓縮空氣系統(tǒng)

• 壓縮空氣中的水分會(huì)影響設(shè)備性能，TK-100用于監(jiān)測(cè)并保持系統(tǒng)干燥。

5. 儲(chǔ)存和運(yùn)輸

• 半導(dǎo)體材料和氣體在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中需要保持干燥，TK-100用于監(jiān)控環(huán)境條件。

優(yōu)勢(shì)

• 高可靠性：TK-100設(shè)計(jì)用于長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，減少維護(hù)需求。

• 多功能性：適用于多種氣體和環(huán)境條件，具有廣泛的應(yīng)用范圍。

• 易于維護(hù)：模塊化設(shè)計(jì)使得傳感器更換和校準(zhǔn)變得簡(jiǎn)單方便。

總結(jié)

TK-100露點(diǎn)儀憑借其高精度、快速響應(yīng)和抗污染能力，在半導(dǎo)體制造設(shè)備中發(fā)揮著重要作用。它能夠有效監(jiān)控和控制氣體和環(huán)境中的水分含量，確保半導(dǎo)體制造過程的高質(zhì)量和穩(wěn)定性。