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更新日期：2024-03-19
簡要描述：
日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500AP250和AP500是適用于半導體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制單元（相當于AP100N）和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。
| 測量范圍 | 1MPa |
|---|
日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500
AP250和AP500是適用于半導體制造工藝等中使用的清潔氣體壓力控制的大流量型控制器，由氣壓控制單元（相當于AP100N）和圓頂型調(diào)節(jié)器單元組成。
此外，外部安裝有壓力傳感器，來自傳感器的信號輸入到氣壓控制單元，氣壓控制組的閥被開/關(guān)控制，以調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)器中球罩的內(nèi)部壓力自動調(diào)節(jié)以匹配任何設(shè)定的壓力值。通過將流量傳感器安裝到外部，它也可以用作流量控制器。
AP250的控制流量為5001 / min，AP500的控制流量為2000L / min，兩種類型的控制壓力約為600kPa。
壓力接頭與適用于AP250的1/2“ VCR和適用于AP500的3/4” SWAG等效或等同于用于AP500的3/4“ VCR等效。適用于真空清潔氣體，用于導體，惰性氣體，腐蝕性氣體，危險氣體等可以使用。
日本ace適用于半導體制造工藝的壓力控制器AP250 / AP500
規(guī)格
| 模型 | AP250 | AP500 |
| 主要用途 | 對于FPD，燃料電池 | 對于FPD，燃料電池 |
| 目標氣體 | N2，空氣，H2等 | N2，空氣，H2等 |
| 入口壓力 | 999kPa以下 | 999kPa以下 |
| 耐壓 | 小于1500kPa | 小于1500kPa |
| 壓力設(shè)定 | 用顯示設(shè)定裝置設(shè)定 | 用顯示設(shè)定裝置設(shè)定 |
| 控制方式 | 圓頂內(nèi)部的氣動控制 | 圓頂內(nèi)部的氣動控制 |
| 控制壓力 | 0-500kPa | 0-500kPa |
| 流量 | 500L /分鐘 | 2000L /分鐘 |
| 響應(yīng)時間 | 1秒鐘達到設(shè)定值 | 1秒鐘達到設(shè)定值 |
| 輸入信號 | 0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉 | 0-5 VDC連續(xù)/關(guān)閉 |
| RS485 | RS485 | |
| 外部傳感器輸入 | （4至20mA標準） | （4至20mA標準） |
| 輸出信號 | 報警輸出，RS485 | 報警輸出，RS485 |
| 管件 | 相當于1/2英寸的VCR或相當于1/2英寸的世偉洛克 | 相當于3/4英寸的VCR或相當于3/4英寸的世偉洛克 |
| 閥座泄漏 | 10-5Pa ? m3 /秒以下 | 10-5Pa ? m3 /秒以下 |
| 準確性 | 取決于壓力傳感器的規(guī)格 | 取決于壓力傳感器的規(guī)格 |
| 電源電壓 | 24VDC±10％ | 24VDC±10％ |
| 目前的消費 | 200mA以下 | 200mA以下 |
| 工作溫度 | 0-50℃無凝結(jié) | 0-50℃無凝結(jié) |
| 面之間的外部尺寸 | 寬70×深145×高124mm | 寬80×深178×高170mm |
| 壓力傳感器 | 無（外部） | 無（外部） |
| 顯示設(shè)定裝置 | 是（可以單獨安裝） | 是（可以單獨安裝） |
