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日本advance riko風(fēng)冷桌面型快速退火爐 熱風(fēng)爐

訪問(wèn)次數(shù)：1947

更新日期：2024-03-22

簡(jiǎn)要描述：

日本advance riko風(fēng)冷桌面型快速退火爐MILA-700AR
晶圓，復(fù)合晶圓的快速加熱
光化學(xué)氣相沉積襯底加熱

日本advance riko風(fēng)冷桌面型快速退火爐 熱風(fēng)爐

日本advance riko風(fēng)冷桌面型快速退火爐MILA-700AR

image.png

用途

  • 晶圓，復(fù)合晶圓的快速加熱

  • 光化學(xué)氣相沉積襯底加熱

  • 熱循環(huán)測(cè)試

  • 涂膜的耐熱性評(píng)估

  • 有機(jī)材料和樹(shù)脂的加熱和干燥

特長(zhǎng)

  • 50°C / s快加熱

  • 可在真空，惰性氣體，流動(dòng)氣氛，空氣的氣氛下進(jìn)行加熱

  • 精確的溫度控制

  • 緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)

仕様

控溫范圍RT ～ 700 °C
樣品尺寸□ 或φ20mm x 2mm （T）
加熱氣氛真空，靜態(tài)氣氛，流動(dòng)氣氛，空氣


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用途

  • 晶圓，復(fù)合晶圓的快速加熱

  • 光化學(xué)氣相沉積襯底加熱

  • 熱循環(huán)測(cè)試

  • 涂膜的耐熱性評(píng)估

  • 有機(jī)材料和樹(shù)脂的加熱和干燥

特長(zhǎng)

  • 50°C / s快加熱

  • 可在真空，惰性氣體，流動(dòng)氣氛，空氣的氣氛下進(jìn)行加熱

  • 精確的溫度控制

  • 緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì)

仕様

控溫范圍RT ～ 700 °C
樣品尺寸□ 或φ20mm x 2mm （T）
加熱氣氛真空，靜態(tài)氣氛，流動(dòng)氣氛，空氣


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