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更新日期：2024-03-22
簡要描述：
日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SP1傳感器單元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼規(guī)型測量單元。傳感器單元采用觸針和電路部分一體化的結(jié)構（觸針可更換），是適合降低成本和節(jié)省空間的真空計。
日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SP1
傳感器單元 (SP1) 是 G-TRAN 系列皮拉尼規(guī)型測量單元。
傳感器單元采用觸針和電路部分一體化的結(jié)構（觸針可更換），是適合降低成本和節(jié)省空間的真空計。
特征
傳感器規(guī)格：不需要壓力指示器時、降低真空計成本、節(jié)省控制面板周圍的空間、節(jié)省布線等。
輕松更換觸控筆
燈絲材料使用耐腐蝕鉑。
您一直使用的觸控筆（SP1：WP-01、02、03、16）可以原樣使用。
可以輸出兩個設定點
SP1：壓力為0～5V輸出（非線性輸出）
電源電壓：可使用DC24V輸入
用途
用于半導體和電子元件等各種制造設備的低真空區(qū)域的過程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設備的低真空區(qū)域的過程控制
用于在線型和單晶片型等具有許多工藝室的各種制造設備的低真空區(qū)域的工藝控制
日本ulvac換能器類型皮拉尼真空計SP1
規(guī)格
| 類型 | 傳感器單元 |
| 模型 | SP1 |
| 自適應探頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
測量精度 | ±15%（51Pa 至 760Pa） |
| ±30%（10Pa 至 1000Pa） | |
| ±50%（0.4Pa 至 3000Pa） | |
| 工作溫度限制 | 10 至 40°C |
| 采樣時間 | 50ms 5次移動平均處理 |
測量值輸出 | 非線性輸出：DC0-5V (Max.10V) |
| （更新時間） 50 毫秒 | |
| (分辨率) 10mV | |
| 設定點 1/2 調(diào)整的輸出 | 非線性輸出：DC 0-5V (Max.10V) |
| 控制輸出信號 | 集電極開路，負邏輯 |
| 錯誤信號 | |
| 設定點 1/2 | |
| LED顯示屏 | 功率、誤差、設定值 1/2 |
| 電源電壓 | DC24V±2V, 90mA (Max.) |
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15P（M2.6螺絲） |
| 身體質(zhì)量 | 190g（不含觸控筆） |
配件 | 輸入/輸出連接器 1套 |
| 快速手冊 1 份 |
